早前，ASML發布了2021年第三季度的財報。報告中顯示2021年第三季度凈銷售額為52億歐元（約386.64億人民幣），凈利潤為17億歐元，毛利率達51.7%。新增訂單金額62億歐元。 ASML預計2021年第四季度營收約為49~52億歐元，毛利率約51%~52%。

ASML 總裁兼首席執行官 Peter Wennink 表示，新增訂單中的29億歐元來自EUV系統訂單，展現了對光刻系統的高需求。此外其還表示有望在四季度時實現全年營收增長 35% 的目標。